半导体温控新突破:阿尔西定制技术助力盛美上海高端装备替代进口
2025年9月7日,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“盛美上海”)成功举办第三届供应商大会。大会上,全球知名制冷温控解决方案提供商阿尔西,凭借出色的定制化技术能力与深度协同服务优势,荣获“最佳潜力奖”。该奖项不仅体现了盛美上海对阿尔西综合实力的充分肯定,也意味着双方在半导体高端装备温控领域的合作步入全新阶段。
盛美上海自2005年作为上海市政府科教兴市重点项目引进以来,已逐步发展成一家具备国际先进水平的半导体设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,核心产品涵盖单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备等。凭借领先的技术实力和完整的产品线,盛美上海连续多年入选“中国半导体设备五强企业”,并成功跻身全球半导体设备制造商前20强,成为中国大陆极少数具备全球竞争力的半导体专用设备企业。
阿尔西长期专注于制冷温控领域,为全球客户提供涵盖咨询、设计、产品、工程、运维与改造的全价值链服务。针对半导体全制程设备的温控要求,阿尔西推出Chiller、THC及多种定制化温湿度控制解决方案,控温范围达-80℃至+220℃,精度可控制在±0.1℃甚至高达±5mK。凭借扎实的技术积累,阿尔西已与国内多家主流FAB厂和半导体主机台制造商建立深度合作,累计落地超4000套应用案例,持续为客户提供超出预期的价值。
本次双方的合作重点,围绕盛美上海旗下具备全球竞争力的多阳极局部电镀ECP设备展开。为满足该高端装备对温度控制的高精度要求,阿尔西成立专项技术团队,成功开发定制化温控产品,实现了设备运行中的精确温度控制与无缝通信协同。该解决方案不仅成功替代了原先采用的海外温控产品,也赢得了盛美上海及其下游Fab客户的高度认可,成为产业链上下游技术协同的标杆案例。
展望未来,阿尔西表示将继续深化在半导体温控领域的技术布局,进一步释放创新潜力与服务效能,与盛美上海等行业领军企业加强合作,共同突破高端装备温控关键技术难题,助力中国半导体产业实现高质量可持续发展。阿尔西同时表达了对盛美上海业绩长虹的美好祝愿,期待双方在半导体装备产业链协同中不断深化合作、共享成果,携手共创行业新未来。